3D-печатные керамические роботизированные руки предлагают непревзойденную точность и долговечность для промышленности

Керамическая роботизированная рука с 3D-печатью представляет собой высокопроизводительное решение для автоматизацииПолупроводниковое производство, обработка пластин и автоматизированное производствоПолем ИспользованиеDLP/SLA 3D -печать технологии, производится как единственный интегрированный компонент из99,9% глиноземная керамика с высокой чистотой (al₂o₃)Полем С исключительными свойствами, включаяУльтра-высокая твердость, термическая сопротивление, коррозионное сопротивление и низкий коэффициент термического расширения, это идеально подходит длявакуумные среды, суровые химические условия и высокотемпературные процессы, обеспечениеВысокая чистота и стабильностьв приложениях для обработки пластин.

Ключевые приложения

✅Полупроводниковая обработка пластин: Вакуумный захват, позиционирование и передача12-дюймовые пластины
✅Оборудование для травления и осаждения: Плазма-устойчивый для процессов PVD/CVD
✅Высокотемпературные операции: Непрерывная операция на300 ° C+
✅Автоматизированные производственные линии: Совместим с инструментами в конце рук (EOOT) для повышения производительности

Конкурентные преимущества

Технические спецификации

• Материальная чистота: ≥99,9% al₂o₃

• Технология печати: Фотополимеризация DLP (± 20 мкм точности)

• Емкость полезной нагрузки: 5 кг (стандарт)/10 кг (тяжелый)

• Повторяемость:± 0,01 мм Точность позиционирования

• Температурная диапазон: От -50 ° C до 300 ° C

• Шероховатость поверхности: RA≤0,1 мкм (от полировки до 0,05 мкм)

• Вакуумная совместимость: Интегрированные воздушные каналы (фильтрация 0,5 мкм)

Процесс производства

1. 3D -моделирование: Конструкция CAD + моделирование пути обработки пластин

2. Подготовка к суспензии: Nano-Alumina + фотополимерная смола (55-58% содержимое твердого вещества)

3. DLP Печать: Выражение слоя за слоем (толщина 20 мкм)

4. Высокий спекание: 1650 ° C (117-122% компенсация усадки)

5. Точная обработка: Лазерная обрезка + шлифование с ЧПУ (± 0,02 мм плоскостность)

6. Контроль качества: Рентгеновская проверка + тестирование утечки

Операционные инструкции

⚠Важные примечания:

• Автоклав стерилизует (121 ° С) перед первым использованием

• Избегайте воздействия гидрофторической кислоты (HF)

• Ежемесячная совместная проверкадля износа и целостности вакуума

• Используйте керамические конечные эффектыЧтобы предотвратить повреждение пластины