Теплоизоляционные характеристики керамических оснований из оксида алюминия для прецизионного измерительного оборудования и промышленного контроля

Изоляционные характеристики Алюминиевые керамические основы для высокоточного измерительного оборудования и промышленной инспекции

Эти алюминиевые керамические опоры изготавливаются с использованием 99,6% высокочистого материала Al2O3, специально разработанного для полупроводникового, оптического и точного измерительного оборудования.Сверхвысокая плоскость 0.01мм/м и коэффициент теплового расширения 7,2×10−6/°C, продукты сохраняют исключительную размерную стабильность при экстремальных температурах (-60°C~1500°C) и вакуумных условиях (≤10−8Pa).

Основные области применения

• Полупроводниковое оборудование: Литографические пластинки, основы камер реакторов для гравирования

• Точная оптика: лазерные интерферометры, зеркальные установки космических телескопов

• Аналитические приборы: Электронный микроскоп пробные стадии, масс-спектрометр ионные источники поддержки

• Промышленная инспекция: основы машин CMM, диктофоны для проверки округлости

• Новая энергия: Опора для топливных элементов, носители фотоэлектрического оборудования для покрытия

Матрица преимуществ производительности

Технические спецификации

Процесс производства с высокой точностью

1. Переработка порошка: 0,1 мкм высокочистый порошок с гранулированным спреем

2. Процесс формирования: Изостатическое прессование (300 МПа) в сочетании с CNC-зеленой обработкой

3. Технология синтеза: Градиентное спекание при 1700°C в атмосфере водорода

4. Точная обработка:

   • Смельчение 5-осной (± 0,002 мм)

   • Магнитореологическая полировка (точность поверхности λ/20@632,8nm)

5. Обработка чистых помещений: сборка завершена в чистой комнате класса 100

6. Полная проверка: Лазерный интерферометр + CMM полная измеренная инспекция

Руководящие принципы установки

• Требования к установке:
  ✓ Использование ключа крутящего момента (рекомендуемое значение 1,5±0,2N·m)
  ✓ Используйте специальные инструменты чистых помещений
  ✓ Рекомендуемая предварительная настройка термального совпадения (градиент температуры < 2°C/мин)

• Ограничения окружающей среды:
  Избегайте контакта с фторводородной кислотой
  Избегайте тепловых ударов > 200°C/мин
  Не подходит для непрерывной окислительной среды > 1600°C

Обязанность служить

• Техническая поддержка: Бесплатный стрессовый анализ FEA

• Быстрая реакция: 72-часовой ускоренный сервис

• Управление отслеживаемостью: 10-летние полные производственные отчеты

• Поддержка сертификации: представлены сертификационные документы SEMI/FDA/ISO

Частые вопросы

Вопрос: Как обеспечить тепловое соответствие с компонентами карбида кремния?
A: Дизайн перехода градиента CTE доступен (настраиваемый 7,2-4,5×10−6/°C)

Вопрос: Максимальные обрабатываемые размеры?
A: Текущий технический предел 500×500×100 мм (требуется специальное оборудование)

Вопрос: Поддерживается ли модификация проводника?
A: настраиваемые антистатические версии с поверхностным сопротивлением 104-1010Ω

Вопрос: Как гарантируется чистота на уровне пластины?
A: Окончательная стерилизация с помощью VHP (парированный перекись водорода)