Высокотемпературные керамические сосуды для 1200 градусов по Цельсию в светодиодной промышленности

Высокотемпературные керамические сопла для процессов при температуре 1200°C в светодиодной промышленности

Специально разработанный для процессов производства светодиодов, этот продукт изготавливается из нитрида кремния (Si₃N₄) высокой чистоты 99,8% методом прецизионного газостатического спекания. Обладая ультравысокой чистотой, устойчивостью к высоким температурам и коррозии, он соответствует строгим требованиям оборудования MOCVD.

Применение в производстве светодиодов

• Оборудование MOCVD: Точное распределение источника MO и газа NH₃

• Эпитаксиальный рост: Равномерная подача газа в реакционные камеры

• Производство чипов: Системы подачи защитного газа

• Процесс упаковки: Распыление люминофора

• Испытательное оборудование: Контроль газа при оптическом контроле

Преимущества для светодиодной промышленности

✓ Ультравысокая чистота: Содержание ионов металла <1ppm
✓ Высокая термостойкость: Выдерживает технологические температуры 1200°C ✓ Отсутствие загрязнения газом: Отсутствие выбросов частиц
✓ Точный контроль потока: Точность потока ±1%
✓ Увеличенный срок службы: Выдерживает более 5000 тепловых циклов
Параметры, специфичные для светодиодов

Параметр

Подготовка материала:

1. Нанопорошок (D50≤0,3 мкм)

   • Беспылевое шаровое измельчение (чистота класса 10)

   • Формование и спекание:

2. Изостатическое прессование (200 МПа)

   • Ультрачистое спекание (среда класса 100)

   • Постобработка:

3. Плазменная очистка (дезактивация поверхности)

   • Ультразвуковая очистка водой DI

   • Упаковка:

4. Двойная вакуумная упаковка

   • Чистые пакеты ISO класса 4

   • Рекомендации по использованию

⚠ Установка: Требуется работа в чистом помещении класса 100

⚠ Контроль газа: Используйте газы высокой чистоты 99,999%
⚠ Управление температурой: Скорость нагрева ≤5°C/мин
⚠ Обслуживание: Испытание на герметичность гелием каждые 500 часов
Специализированные услуги

Расширенная гарантия: 18 месяцев

• Тестирование на чистоту: Бесплатное тестирование на выброс частиц

• Быстрый ответ: Техническая поддержка в течение 12 часов

• Оптимизация процесса: Моделирование поля газового потока

• FAQ

В: Как обеспечить чистоту подачи источника MO?

О: Тройная защита:
① Пассивация поверхности Si
② Чистая упаковка класса 100
③ Плазменная очистка перед установкой
В: Устранение засорения сопла?

О: Рекомендуется:
• Ультразвуковая очистка 200 Вт + очистка водой DI
• Отсутствие механической очистки стержнем
• Доступна профессиональная услуга очистки
В: Совместимость с различными эпитаксиальными слоями?

О: Настраиваемые параметры:
Многоотверстные матричные структуры

• Конструкции с постепенным изменением размера отверстия

• Специальные угловые конфигурации

•